公开/公告号US2020209606A1
专利类型
公开/公告日2020-07-02
原文格式PDF
申请/专利号US201916622868
发明设计人 CHAO WANG;XUEKE GOU;JING JIANG;JUN HU;ZEZHAN ZHANG;YANG YANG;YING DUAN;CONGJUN WU;YUEMING WANG;
申请日2019-03-22
分类号G02B21/36;C23C16/52;H01L21/02;H01L21/67;G02B21/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:22:04