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STAGE DEVICE

机译:舞台设备

摘要

A stage device 100 comprises: a slider 10 for air-servo driving; a first guide 12 that guides first-direction movement of the slider 10; an actuator 14 that drives the first guide 12 in a second direction; and a second guide 16 that guides the second-direction movement of the first guide 12.
机译:载物台装置100包括:用于空气伺服驱动的滑动器10;以及用于滑动驱动的滑动器。第一引导件12,其引导滑块10的第一方向运动;致动器14沿第二方向驱动第一引导件12。第二引导件16引导第一引导件12的第二方向运动。

著录项

  • 公开/公告号WO2020044685A1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-03-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES LTD.;

    申请/专利号WO2019JP20883

  • 发明设计人 YOSHIDA TATSUYA;

    申请日2019-05-27

  • 分类号G12B5;B23Q1/62;B23Q5/26;F16C32/06;H01L21/68;F16C33/74;

  • 国家 WO

  • 入库时间 2022-08-21 11:13:09

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