公开/公告号WO2020067914A1
专利类型
公开/公告日2020-04-02
原文格式PDF
申请/专利号WO2018RU00625
发明设计人 XU KUN;GAGE DAVID MAXWELL;LEE HARRY Q.;IRAVANI HASSAN G.;BENNETT DOYLE E.;SHRESTHA KIRAN LALL;
申请日2018-09-26
分类号H01L21/66;B24B1;H01L21/30;H01L21/321;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:12:14