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Process for applying a filter layer to a crystal body

机译:将滤光层施加到晶体上的方法

摘要

The invention relates to a method for applying a filter structure (100) to a crystal body (1), in particular a diamond with a number of color centers, in particular nitrogen defects, for a magnetic field sensor device with the following steps: Amorphizing a surface area (10) of the crystal body (1) to which the filter structure (100) is to be applied to provide an amorphous surface area (10), and applying the filter structure (100) to the amorphous surface area (10). The invention also relates to a sensor device having a crystal body (1) on which a filter structure (100) is applied to the crystal body (1) according to this method.
机译:用于将过滤器结构(100)应用于晶体体(1)的方法,特别是具有多个色心,尤其是氮缺陷的金刚石,用于具有以下步骤的磁场传感器设备:晶体体(1)的要应用过滤结构(100)的表面区域(10)以提供非晶表面区域(10),并将过滤结构(100)应用到非晶表面区域(10) )。本发明还涉及一种具有晶体(1)的传感器装置,根据该方法,在晶体(1)上施加了过滤结构(100)。

著录项

  • 公开/公告号DE102019205217A1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-10-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ROBERT BOSCH GMBH;

    申请/专利号DE201910205217

  • 申请日2019-04-11

  • 分类号C23C16/02;C23C14/02;G01N21/64;G02B1/02;G02B1/10;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 11:01:12

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