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OPTICAL SYSTEM AND LITHOGRAPH SYSTEM

机译:光学系统和光刻系统

摘要

An optical system (200) for a lithography system (100A, 100B), comprising an optical element (202), a force actuator (212) which is designed to apply a force (F) to the optical element (202) in order to adjust it , and a damping device (300) for damping vibration modes of the optical element (202), wherein the damping device (300) is arranged between the optical element (202) and the force actuator (212) in such a way that a force path (FP) of the force ( F) takes its way over the damping device (300).
机译:用于光刻系统(100A,100B)的光学系统(200),包括光学元件(202),力致动器(212),该力致动器被设计为向光学元件(202)施加力(F),以便调节它,以及用于衰减光学元件(202)的振动模式的阻尼装置(300),其中,阻尼装置(300)以这样的方式布置在光学元件(202)和力致动器(212)之间:力(F)的力路径(FP)通过阻尼装置(300)。

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