SPECTROMETER, METHOD FOR PRODUCING A SPECTROMETER AND METHOD FOR OPERATING A SPECTROMETER

摘要

Spektrometer (100), aufweisend:eine erste Spiegeleinheit (102), die für elektromagnetische Strahlung zumindest einer Wellenlänge oder eines Wellenlängenbereichs semitransparent ist, wobei die erste Spiegeleinheit (102) eine Membran aufweist und wobei die erste Spiegeleinheit (102) zumindest ein erstes elastisches Element (304a) und zumindest ein zweites elastisches Element (304b) aufweist;eine zweite Spiegeleinheit (118), die einen ersten Bereich (104) und einen zweiten Bereich (106) aufweist, wobei der erste Bereich (104) und der zweite Bereich (106) der ersten Spiegeleinheit (102) zugewandt sind, wobei zumindest ein Teil des ersten Bereichs(104) und des zweiten Bereichs (106) von der ersten Spiegeleinheit (102) beabstandet sind, wobei der erste Bereich (104) teilweise für die elektromagnetische Strahlung zumindest einer Wellenlänge oder eines Wellenlängenbereichs reflektierend ist, wobei der zweite Bereich (106) zumindest einen Teil eines Fotodetektors aufweist und wobei der Fotodetektor zum Detektieren der elektromagnetischen Strahlung zumindest einer Wellenlänge oder eines Wellenlängenbereichs konfiguriert ist;zumindest eine Antriebsschaltung, die konfiguriert ist zum Einstellen eines Abstandes zwischen der ersten Spiegeleinheit (102) und der zweiten Spiegeleinheit (118), wobei die zumindest eine Antriebsschaltung aufweist:eine erste Antriebsschaltung, die konfiguriert ist zur Grobeinstellung eines Abstands (108) zwischen der ersten Spiegeleinheit (102) und der zweiten Spiegeleinheit (118) mittels Einstellens einer zweiten Ablenkung (406) des zumindest einen zweiten elastischen Elements (304b);eine zweite Antriebsschaltung, die konfiguriert ist zur Feineinstellung des Abstands (108) zwischen der ersten Spiegeleinheit (102) und der zweiten Spiegeleinheit (118) mittels Einstellens einer ersten Ablenkung (212) des zumindest einen ersten elastischen Elements (304a).