Image recording device, image measuring device, non-contact displacement detection device and non-contact profile measuring device

摘要

Eine Bildmessvorrichtung (1), die als eine berührungslose Profilmessvorrichtung fungiert, enthält: einen Bildsensor (14) als eine Bildaufnahmevorrichtung; eine Linse mit variabler Brennweite (Flüssigkeitslinseneinheit (13)), die auf einer optischen Achse (Ai) angeordnet ist, die sich von einem Werkstück (9) zu dem Bildsensor (14) erstreckt; und einen Controller (Bildaufnahmelinsencontroller (30) und Bildmessprozessor (51)), der konfiguriert ist, die Linse mit variabler Brennweite zu steuern bzw. zu regeln und ein erfasstes Bild durch den Bildsensor (14) zu verarbeiten. Die Bildmessvorrichtung (1), die auch als eine berührungslose Verlagerungserfassungsvorrichtung fungiert, enthält: einen Bildsensor (24); eine Linse mit variabler Brennweite (Flüssigkeitslinseneinheit (23)), die auf einer optischen Achse (Ad) angeordnet ist, die sich von dem Werkstück (9) zu dem Bildsensor (24) erstreckt; und einen Controller (Verlagerungserfassungslinsencontroller (40) und Profilmessprozessor (53)), der konfiguriert ist, die Linse mit variabler Brennweite und ein erfasstes Bild durch den Bildsensor (24) zu steuern bzw. zu regeln.