HALF-LEAD CONTRACT FOR THE ASSESSMENT AND APPLICATION OF THIS PROCEDURE TO ASSESS THE EFFECTIVENESSMENT OF A PROCEDURE

摘要

Es ist notwendig, die Leistung durch eine quantitative Bewertung der Fehlererfassungsempfindlichkeit einer Prüfvorrichtung für die Verwendung des Spiegelelektronenbilds zu gewährleisten, um einen Fehler in einem Halbleitersubstrat zu erfassen. Die Größe und Position von zufällig entstandenen Fehlern ist jedoch willkürlich, und diese Art der quantitativen Bewertung war bisher schwierig. Dieses Halbleitersubstrat 101 für die Bewertung ist für das Bewerten der Fehlererfassungsempfindlichkeit einer Prüfvorrichtung bestimmt und umfasst eine Vielzahl von ersten Einbuchtungen 104, die durch das Eindrücken eines Eindringkörpers mit einer vorgegebenen Härte und Form in das Halbleitersubstrat für die Bewertung mittels einer ersten Druckbelastung gebildet werden. Weiterhin wird ein Spiegelelektronenbild der Vielzahl von ersten Einbuchtungen des Halbleitersubstrats für die Bewertung aufgenommen, und die Fehlererfassungsempfindlichkeit einer Prüfvorrichtung wird durch die Berechnung der Fehlererfassungsrate der Vielzahl von ersten Einbuchtungen in dem erfassten Spiegelelektronenbild bewertet.