RESPONSIBILITY OF A SINGLE RISK GROWTH AND SINGLE RISK GROWTH

摘要

Die vorliegende Anmeldung stellt einen Reflexionsschirm eines Einkristall-Wachstumsofens und den Einkristall-Wachstumsofen selbst bereit. Der Reflexionsschirm weist einen Innenzylinder, einen Außenzylinder, ein Wärmeisolationsmaterial, das sandwichartig zwischen dem Innen- und Außenzylinder eingefügt ist, und eine Wärmeisolationseinlage auf, die an der Verbindungsstelle des Innen- und Außenzylinders angeordnet ist. Der Reflexionsschirm und der Einkristall-Wachstumsofen können die Wärmedurchlässigkeit vom Außenzylinder zum Innenzylinder senken, den vertikalen Temperaturgradienten des Rohblocks erhöhen und den Umstand verhindern oder abmildern, dass die Siliziumoxide, die aus dem geschmolzenem Silizium verdampft sind, am Außenzylinder des Reflexionsschirms kondensieren. Dadurch können Polykristalle, die durch die in das geschmolzene Silizium fallenden Oxide verursacht werden, reduziert werden. Des Weiteren kann die während des Wachstums des monokristallinen Siliziums erforderliche Wärmeenergie wegen der Reduktion unnötiger Wärmedurchlässigkeit reduziert werden.