显微加工的陀螺仪

摘要

一种显微加工的陀螺仪利用科氏加速度检测并测量绕垂直于该基片表面的轴线的旋转速率。特别是，各种谐振结构悬挂在框架内。该谐振结构包括机械地连接的相位和反相位质量，以便产生用于整个谐振系统的单一谐振频率。该显微加工陀螺仪绕轴线的旋转产生作用在该框架上的旋转力。该框架以这样的方式悬挂，使其除旋转方向之外沿所有方向的运动被严格地限制。在该框架所有边上的传感器检测该框架的旋转的偏转，用于测量方向的变化。