组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法

摘要

本发明涉及一种组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法，组合舟包括：外舟体，设有具有开口的容纳空间；独立于外舟体设置的单舟，用于放置基片；单舟能够经开口移入容纳空间内或者经开口从容纳空间移出。当需要进行水平载片时，将硅片放入单舟，将单舟移入外舟体内；而当需要进行竖直载片时，对外舟体的结构做适应性调整，将硅片放入单舟并旋转90°后放入调整后的外舟体中即可。相对于现有技术中一体设置的载片舟，该组合舟采用分体设置的外舟体与单舟的方式，在水平载片与竖直载片之间切换时，在不改变处理设备其他结构的情况下，不需要改变单舟的结构，只需要调整外舟体的结构即可，便于实现水平载片与竖直载片之间的切换。