基于共轭成像的组合式波前校正器

摘要

基于共轭成像的组合式波前校正器，包括多个波前校正器和4f光学系统，所述的波前校正器可以是两个、三个或更多，波前校正器可以是采用压电陶瓷(PZT)或电致伸缩陶瓷(PMN)作为驱动器来制造的连续镜面变形镜，也可以是双压电变形镜(Bimorph mirror)，也可以是采用微电子机械系统(MEMS)技术制造的变形镜，还可以是液晶空间光调制器件(LC-SLM)；所述的4f光学系统既可以采用透镜构成，也可以采用离轴反射抛物镜构成，4f光学系统将相邻波前校正器依次连接起来，构成一个组合式波前校正器，且使每个波前校正器都处在光学共轭成像位置。本发明结构简单、加工工艺易实现，为实现高驱动单元数波前校正效果提供了一个易于实现的方法。