SPM药液升温方法

摘要

本发明公开了一种SPM药液升温方法，针对湿法刻蚀机台的SPM溶液槽的控温。在对SPM溶液进行升温过程时，采用分段升温方式，先采用升温速率V1将SPM溶液快速升温至90～110℃后进行短时间保温过程，使SPM溶液槽的加热头加热功率降低；然后再使用升温速率V2将SPM溶液温度从90～110℃缓慢升温至120℃。采用分段升温后，升温时间缩减为原来1/3～1/2，且H2O2浓度稳定在1%～1.5%，满足工艺要求。