一种太阳能光伏电池低压水平磷扩散生产线

摘要

本发明公开了一种太阳能光伏电池低压水平磷扩散生产线,包括N型单晶硅片、制绒设备、低压水平热处理系统、激光SE设备、低压水平氧化系统、碱抛和刻蚀设备、PECVD设备、丝网印刷设备和电注入设备，制绒设备用于N型单晶硅片的制绒工序，低压水平热处理系统用于N型单晶硅片的硼扩散、磷扩散和退火工序，本发明提供一种太阳能光伏电池低压水平磷扩散生产线，对N型单晶硅片依次进行制绒、硼扩散、激光SE、氧化、碱抛光、LPCVD、磷扩散、激光SE、氧化、刻蚀、退火、PECVD、丝网印刷和电注入，通过增加低压水平热处理系统和碱抛刻蚀设备极大的适配并利用现有的PERC‑SE生产线，生产线设备几乎无浪费，延长了PERC生产线生命周期。