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水循环装置及水循环系统

摘要

本发明提供了一种水循环装置及水循环系统,所述水循环装置包括依次相连通的进水管道、水箱、出水管道和过滤单元。当所述含气液体通过所述进水管道流入所述水箱,经所述水箱容置一段时间,所述含气液体即能够实现气液分离以得到去气液体,所述出水管道将所述去气液体输送给所述过滤单元,经过滤后得到洁净水从而接入冷却机中实现排水的循环利用。由此实现了稳定的水循环,减少了排水的浪费,避免了人工补液,从而节约时间成本,降低经济成本,提高作业效率。

著录项

  • 公开/公告号CN110713278B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022.08.19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;

    申请/专利号CN201911025742.9

  • 发明设计人 陈伟;朱亮;柳小敏;

    申请日2019.10.25

  • 分类号C02F9/02(2006.01);

  • 代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237;

  • 代理人曹廷廷

  • 地址 201315 上海市浦东新区良腾路6号

  • 入库时间 2022-09-26 23:16:11

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