公开/公告号CN109359918B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-24
原文格式PDF
申请/专利权人 广州品唯软件有限公司;
申请/专利号CN201811288663.2
申请日2018-10-31
分类号G06Q10/08;G06Q30/02;
代理机构广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙);
代理人赵赛;蔡碧慧
地址 510000 广东省广州市荔湾区芳村大道中314号自编之一
入库时间 2022-08-23 13:55:10
机译: 成膜设备及成膜方法