单自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法

摘要

本发明提出单自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法，所述干涉仪包括激光光源、光栅、位移发生装置、用于形成F‑P腔部分具有透射表面的光学器件、光电探测模块和信号处理模块；激光光源与光栅按Littrow角放置，光栅固定在所述位移发生装置上且与位移发生装置的运动方向平行设置，所述光栅在所述位移发生装置的驱动下在垂直于光栅刻线的方向上运动，所述光栅表面和部分透射表面之间形成F‑P腔，光电探测模块用于接收部分透射表面透过的多光束干涉光，所述信号处理模块对所述光电探测模块得到的干涉信号进行处理和解算。本发明提出的法布里珀罗光栅干涉仪，融合了光栅干涉和法布里珀罗干涉技术，可以实现光栅面内的位移测量。