公开/公告号CN112313786B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-03
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申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201980041917.7
发明设计人 H·P·西瑞曼;S·米纳科什孙达拉姆;A·罗布;
申请日2019-06-07
分类号H01L21/67;H01L21/66;G03F7/20;
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人刘丽楠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 13:46:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-03
授权
发明专利权授予