具有低本体吸收和低微特征密度的厚的光学品质合成聚晶金刚石材料

摘要

聚晶化学气相沉积金刚石晶片，包括：直径≥40mm；厚度≥1.0mm；在10.6μm处吸收系数≤0.1cm‑1；和符合以下规范的微特征密度，特别是“黑点”形式的微特征密度：在0至20毫米半径的中心区域中，存在不超过100个尺寸为0.002至0.008mm2的微特征，不超过50个尺寸为0.008至0.018mm2的微特征，不超过25个尺寸为0.018至0.05mm2的微特征，和0个尺寸为0.05至0.1mm2的微特征，以及在20至40毫米半径的外部区域中，存在不超过200个尺寸为0.002至0.008mm2的微特征2，不超过150个尺寸为0.008至0.018mm2的微特征，不超过100个尺寸为0.018至0.05mm2的微特征，和0个尺寸为0.05至0.1mm2的微特征。