公开/公告号CN108701752B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-10
原文格式PDF
申请/专利号CN201680076572.5
申请日2016-12-28
分类号H01L41/113;D03D1/00;D03D15/47;D03D15/533;D03D15/283;D04B1/14;D04B21/00;D04C1/02;D04C1/12;G01L1/16;G06F3/041;H01L41/04;H01L41/047;H01L41/193;H01L41/29;
代理机构
代理人
地址 日本大阪府大阪市
入库时间 2022-08-23 13:37:53