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公开/公告号CN109428591B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-29
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;
申请/专利号CN201710744010.X
发明设计人 周曙光;梁杰雄;
申请日2017-08-25
分类号H03L7/08;H03L7/099;
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅;李时云
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 13:34:22
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