微区电化学加工装置及利用其制备电沉积氧化亚铜的方法

摘要

本发明公开了一种微区电化学加工装置及利用其制备电沉积氧化亚铜的方法，加工装置包括电解池和脉冲发生器，电解池内设有工作电极、微电极、辅助电极和参比电极；脉冲发生器输出的纳秒脉冲作用于微电极与工作电极间，诱导微电极与工作电极快速极化，使电化学反应约束在亚微米区域。电沉积氧化亚铜的制备方法通过调控沉积氧化亚铜的时间、微电极针尖面与工作电极间的距离、脉冲电压、脉冲宽度等参数，提高氧化亚铜薄膜的加工精度，采用四电极体系，通过纳秒长超短脉冲，在电解液中将电沉积氧化亚铜反应约束在亚微米区域，实现在微区对工作电极进行定点修饰或加工，防止加工期间产生的热量使溶液沸腾和损害工件。