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公开/公告号CN110678785B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-05
原文格式PDF
申请/专利权人 JSR株式会社;
申请/专利号CN201880034851.4
发明设计人 大桥幸恵;长屋胜也;大月敏敬;
申请日2018-05-25
分类号G03F7/004(20060101);
代理机构11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人杨文娟;臧建明
地址 日本东京港区东新桥一丁目9番2号
入库时间 2022-08-23 13:24:12
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