冷却装置、具备冷却装置的曝光装置、具备冷却装置的工业用设备

摘要

冷却装置(1)具备：压缩制冷剂的压缩机(2)；配置在上述压缩机(2)的下游侧，使被压缩的制冷剂向第一流路和第二流路分流的分支点(7)；在上述第一流路中配置在上述分支点(7)的下游侧，使被压缩的制冷剂冷凝的冷凝器(3)；配置在上述冷凝器(3)的下游侧，使冷凝的制冷剂减压的第一减压器(4)；配置在上述第一减压器(4)的下游侧，串联连接成冷却各不相同的被冷却对象的多个蒸发器(5a、5b、5c)；在上述第二流路中配置在上述分支点(7)的下游侧，使被压缩的制冷剂减压的第二减压器(11)；在位于上述多个蒸发器之中的最下游的蒸发器(5c)的上游侧的合流点(8)连接上述第二减压器(11)的流出口的热气流路(9)；使从上述多个蒸发器之中的最下游的蒸发器(5c)流出的制冷剂向上述压缩机回流的回流路(13)；检测在上述多个蒸发器之中的最下游的蒸发器(5c)中被冷却的被冷却对象的温度的第一温度检测机构(10)；以及控制部(12)，上述控制部(12)基于上述第一温度检测机构(10)检测的温度控制上述第二减压器(11)的开闭度。