全基于激光诱导石墨烯工艺的自供能传感微系统

摘要

本发明提供了一种全基于激光诱导石墨烯工艺的自供能传感微系统。包括：LIG储能元件层、PI衬底层和LIG功能及采能元件层，PI衬底层作为LIG储能元件层、LIG功能及采能元件层天然的结构连接层与电学绝缘层，将LIG传感功能元件和LIG采能元件制备在系统的正面，将LIG储能元件制备在系统的背面，利用LIG穿孔机制保证系统正反面元件的有效互连。PI衬底层作为激光诱导前驱体，对传感功能元件、采能元件和储能元件分别选取特异性的参数进行LIG电极诱导。本发明的系统利用单步激光诱导PI衬底获取LIG的方式，并结合LIG优异的物理化学性能，实现了包括传感元件、采能元件、储能元件、系统互连线等全套传感微系统组件，实现了便携式电子设备工艺层面与性能层面的集成化。