室温碲化铂阵列太赫兹探测器及其制备方法

摘要

本发明揭示了一种室温碲化铂阵列太赫兹探测器及其制备方法，所述探测器包括衬底、位于衬底上的氧化层、位于氧化层上且阵列分布的碲化铂沟道层、及位于氧化层及部分碲化铂沟道层上且阵列分布的电极层，所述太赫兹探测器基于碲化铂的II型狄拉克半金属特性实现对太赫兹波的有效探测。本发明的太赫兹探测器利用碲化铂的优异物理性质，可实现室温下对太赫兹波的高速、高灵敏度探测。