一种数字全息三维形貌测量装置及方法

摘要

本发明涉及一种数字全息三维形貌测量装置及方法，装置包括：激光器、分光组件、用于照射待测物体的物光光路、用于参考的参考光光路、光路合成组件、包括多个传感器的采集系统；所述分光组件将所述激光器发出的光分成两束，第一束光经由物光光路照射待测物体，所述待测物体对照射的第一束光进行反射；第二束光作为参考光由参考光光路传输，参考光光路传输的参考光与待测物体的反射光在光路合成组件中汇合并射入多个传感器的探测面；所述采集系统中多个传感器的探测面记录光路合成组件中发生干涉的参考光和反射光的全息信息，并根据所述全息信息获取所述待测物体的三维形貌。本发明的结构能够高精度、快速实时的测量三维物体表面形貌。