利用负压槽的低气压空气轴承滑块的系统和方法

摘要

本发明披露了一种利用负压槽的低气压空气轴承滑块的系统和方法。在一个实施例中，一个凹槽从滑块的前沿延伸、分开并终止在滑块尾沿处的两个位置。在一个实施例中，在靠近滑块尾沿的滑块压力垫中布置有一个凹槽。