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压电基板以及表面声波器件

摘要

本发明提供一种压电基板,其由钽酸锂(LT)晶体等含锂的金属化合物晶体构成,该压电基板在基板内含有钾,且钾的分布在基板的厚度方向上大致均匀。另外,提供一种压电基板,在从截面方向测定的拉曼光谱中,在380cm‑1附近存在的起因于Li‑O晶格振动的峰与电导率为1×10‑15S/cm以下的未处理压电基板的同一峰相比,向高波数侧位移。

著录项

  • 公开/公告号CN109477242B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-07-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 京瓷株式会社;

    申请/专利号CN201880002632.8

  • 申请日2018-06-29

  • 分类号C30B29/30(20060101);C01G35/00(20060101);C30B31/06(20060101);H01L41/18(20060101);H01L41/22(20130101);H03H9/25(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人张毅群

  • 地址 日本京都府

  • 入库时间 2022-08-23 12:11:12

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