一种功能梯度结构的压电驱动器件及其制备方法

摘要

一种功能梯度结构的压电驱动器件及其制备方法，属于悬臂梁结构压电驱动器技术领域。采用粉末烧结方法将锆钛酸铅压电陶瓷和金属Ag进行复合，通过逐层改变Ag含量形成Ag成分梯度变化的压电陶瓷复合材料，在复合材料的上下表面涂覆银电极并切割成型，制备得到PZT/Ag功能梯度结构的压电驱动器。压电陶瓷复合材料的烧结温度为900-1200℃，Ag含量最高为15vol%。本发明的优点在于，Ag作为第二相加入PZT一方面调控压电复合材料的压电性能并沿驱动器厚度方向形成梯度变化，使得各复合层协调变形；另一方面由于金属第二相的弥散强化和阻裂增韧作用，大幅提高了悬臂梁结构压电驱动器的可靠性和服役寿命。