不匀检查装置以及不匀检查方法

摘要

一种不匀检查装置，具有：载物台，其保持基板；光射出部，其向基板的形成了膜的上表面射出线状光；受光部，其接受来自基板的反射光；波段切换机构，其被配置在基板和受光部之间来切换光的波段；移动机构，其移动载物台；检查部，其基于所接受的光的强度分布来检查膜厚不匀。在不匀检查装置中，通过将从光射出部入射到基板的光相对上表面的入射角θ1设为60°，从而能够使可进行高精度不匀检测的膜厚的范围变大，同时能够防止相对膜厚的反射率的极大点附近区域、即低灵敏度区域的宽度变宽。其结果是能够防止膜厚的变化幅度包含在低灵敏度区域内，并精度较高地检测出微小侧膜厚不匀。