公开/公告号CN100434392C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 同济大学;
申请/专利号CN200710036602.2
申请日2007-01-18
分类号C04B35/462(20060101);C04B35/465(20060101);C04B35/468(20060101);C04B35/47(20060101);C04B35/622(20060101);
代理机构31219 上海光华专利事务所;
代理人解文霞;余明伟
地址 200092 上海市杨浦区四平路1239号
入库时间 2022-08-23 09:01:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-03-27
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C04B 35/462 授权公告日:20081119 终止日期:20120118 申请日:20070118
专利权的终止
2008-11-19
授权
授权
2007-09-26
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-08-01
公开
公开
机译: (Ba.sub.1-x Sr.sub.x)RuO.3 /(Ba.sub.1-x Sr.sub.x)TIO.sub.3 /(Ba.sub.x)的金属有机化学气相沉积用于高介电材料的1-x Sr.sub.x)TiO.sub.3 /(Bassub 1-Sr.sub.x)RuO.sub.3电容器
机译: TiO3电介质薄膜形成的(Ba和Sr)成分以及TiO3的(Ba和Sr)形成方式
机译: 形成具有Ba x Sr y Ca 1-x-y TiO 3的低损耗组成的介电薄膜的方法:Ba 0.12-0。 25 Sr.sub.0.35- 0.47 Ca.sub.0.32-0.53 TiO.sub.3