公开/公告号CN100369202C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-02-13
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院物理研究所;
申请/专利号CN200510068151.1
申请日2005-04-29
分类号H01L21/205(20060101);H01L33/00(20060101);C23C16/44(20060101);
代理机构11003 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司;
代理人尹振启
地址 100080 北京市海淀区中关村南三街8号
入库时间 2022-08-23 09:00:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-07-06
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/205 授权公告日:20080213 终止日期:20100429 申请日:20050429
专利权的终止
2008-02-13
授权
授权
2005-12-21
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-10-26
公开
公开
机译: 包含金属氧化物薄膜和聚合物复合薄膜的层状纳米薄膜的制备方法,包含金属氧化物薄膜和聚合物复合薄膜的层状纳米薄膜的制备方法
机译: 碳纳米管复合材料及其制备方法,由该碳纳米管复合材料制备的碳纳米管复合薄膜及其制备方法
机译: 具有纳米材料层的反渗透薄膜纳米复合膜的制备方法及由此制备的薄膜纳米复合膜