包含Al-Te-Cu-Zr合金的溅射靶及其制造方法

摘要

一种Al‑Te‑Cu‑Zr合金溅射靶，其特征在于，所述溅射靶含有20原子％～40原子％的Te、5原子％～20原子％的Cu、5原子％～15原子％的Zr，剩余部分包含Al，并且在靶组织中不存在Te相、Cu相和CuTe相。本发明的课题在于提供一种可以有效地抑制溅射时的粉粒产生、结瘤产生等、并且可以减少靶中所含的氧的Al‑Te‑Cu‑Zr合金溅射靶及其制造方法。