法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-05-25
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/022 授权公告日:20070124 终止日期:20100314 申请日:20030314
专利权的终止
2007-01-24
授权
授权
2005-02-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-10-01
公开
公开
机译: 1,2-萘醌-2-二叠氮磺酸酯光敏剂,该光敏剂的制造方法以及光致抗蚀剂组合物
机译: 1,2-萘醌-2-二叠氮磺酸酯光敏剂,该光敏剂的制造方法以及光致抗蚀剂组合物
机译: 1,2-萘甲醌-2-二叠氮化磺酸酯光敏剂,制备光敏剂的方法和光致抗蚀剂组合物