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公开/公告号CN104025321B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-06-19
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社东芝;东芝高新材料公司;
申请/专利号CN201280054489.X
发明设计人 山川昌彦;白川康博;
申请日2012-10-23
分类号
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人过晓东
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:12:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-19
授权
2014-10-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L33/50 申请日:20121023
实质审查的生效
2014-09-03
公开
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