氢气传感器芯体用介质材料、氢气传感器芯体及其制备方法与应用

摘要

本发明公开了一种氢气传感器芯体用介质材料、氢气传感器芯体及其制备方法与应用。氢气传感器芯体用介质材料为氧化锌；氢气传感器芯体依次包括基片、第一介质层和氢气敏感层，所述第一介质层为氧化锌薄膜层。其制备方法包括以下步骤：（1）先清洗基片表面，再去除基片表面的自然氧化层；（2）在基片表面制备氧化锌薄膜层；（3）在氧化锌薄膜层上制备氢气敏感层。本发明的氢气传感器芯体具有检测氢气浓度的下限低、响应时间和脱氢时间较短等优点，制备方法具有成本低廉、制备工艺简单等优点。