公开/公告号CN218414511U
专利类型实用新型
公开/公告日2023-01-31
原文格式PDF
申请/专利权人 常州亿晶光电科技有限公司;
申请/专利号CN202222477842.9
申请日2022-09-19
分类号H01L21/673;H01L31/18;C23C16/50;
代理机构常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙);
代理人王美华
地址 213000 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号
入库时间 2023-02-20 22:27:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-01-31
授权
实用新型专利权授予
机译: PECVD石墨舟的保护层
机译: 晶圆加工装置的双舟结构
机译: 一种用于无线穿戴式通信的高柔性导电石墨烯基层压板的制造方法