首页> 中国专利> 一种靶材孔位检具

一种靶材孔位检具

摘要

本实用新型提供了一种靶材孔位检具,所述靶材孔位检具包括扇形基底;沿远离扇形基底圆心的方向依次划分第一圆弧段、第二圆弧段与第三圆弧段;第一圆弧段、第二圆弧段、第三圆弧段与扇形基底同圆心;所述第一圆弧段设置有至少1个排气通孔;所述第二圆弧段设置有至少1个圆柱形凸起;所述第三圆弧段设置有至少1个凸台定位件;所述凸台定位件包括同轴心的圆柱基底与圆柱定位凸起;所述圆柱形凸起的直径与其对应的靶材孔位的直径;所述圆柱定位凸起的直径与其对应的靶材孔位的直径;所述圆柱基底的直径≤与其对应的靶材孔位的直径。所述靶材能够对靶材的孔位尺寸进行检测,且检测过程简单便捷,检测误差较小。

著录项

  • 公开/公告号CN218238611U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2023-01-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 宁波江丰电子材料股份有限公司;

    申请/专利号CN202222033794.4

  • 发明设计人 姚力军;潘杰;陈文庆;王学泽;

    申请日2022-08-03

  • 分类号G01B5/00;

  • 代理机构北京远智汇知识产权代理有限公司;

  • 代理人牛海燕

  • 地址 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

  • 入库时间 2023-01-12 18:58:31

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-01-06

    授权

    实用新型专利权授予

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号