一种改善良率的石墨舟陶瓷结构

摘要

本实用新型涉及一种改善良率的石墨舟陶瓷结构，包括导电杆，所述导电杆的外部固定有非导电陶瓷圈，所述导电杆的外部固定有半导电陶瓷圈，所述非导电陶瓷圈包括非导电凸出和陶瓷圈，所述导电杆的外部固定有非导电凸出，所述非导电凸出的右侧固定有陶瓷圈，所述半导电陶瓷圈包括导电凸出和非导电帽，所述导电杆的外部固定有导电凸出。该改善良率的石墨舟陶瓷结构，设置的非导电陶瓷圈和半导电陶瓷圈间隔布局，改善间隔的石墨舟的连接方式，将间隔的石墨舟叶组成一个导电整体，另一半的石墨舟叶组成另一个导电整体，改善整个石墨舟的电场均匀性，有利于改善硅片成膜的均匀性，降低返工，提升效率和良率。

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体为一种改善良率的石墨舟陶瓷结构。

背景技术

太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应直接把光能转化成电能的装置，太阳能电池，是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片，又称为“太阳能芯片”或“光电池”，它只要被满足一定照度条件的光照度，瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。

太阳能电池作为当下最清洁的能源之一，其制造过程中需要使用大量的石墨舟叶及陶瓷圈组成的石墨舟，用于在硅片表面形成减反射膜，在镀膜过程中，是通过射频电源不断变换相位，使电离的等离子体均匀的吸附在硅片表面上，形成所需的钝化层，在加工过程中会出现石墨舟导电性不好，而使得待加工硅片上成膜不均匀的问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种改善良率的石墨舟陶瓷结构，具备成膜均匀性更好的优点，解决了在镀膜过程中，是通过射频电源不断变换相位，使电离的等离子体均匀的吸附在硅片表面上，形成所需的钝化层，在加工过程中会出现石墨舟导电性不好，而使得待加工硅片上成膜不均匀的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种改善良率的石墨舟陶瓷结构，包括导电杆，所述导电杆的外部固定有非导电陶瓷圈，所述导电杆的外部固定有半导电陶瓷圈，所述非导电陶瓷圈包括非导电凸出和陶瓷圈，所述导电杆的外部固定有非导电凸出，所述非导电凸出的右侧固定有陶瓷圈，所述半导电陶瓷圈包括导电凸出和非导电帽，所述导电杆的外部固定有导电凸出，所述导电凸出的右侧固定有非导电帽。

进一步，所述非导电陶瓷圈和半导电陶瓷圈的数量均为四个，且依次呈左右间隔分布。

进一步，所述导电杆为导电圆柱，且导电杆的直径为6mm，所述导电杆的左右两端外部均开设有螺纹旋线。

进一步，所述非导电陶瓷圈和半导电陶瓷圈均套接在导电杆的外部，最右侧所述半导电陶瓷圈的右侧固定有非导电凸出。

进一步，所述非导电凸出的内直径为6mm，且外直径为8mm，所述陶瓷圈的内直径为6mm，且外直径为10mm。

进一步，所述导电凸出的内直径为6mm，且外直径为8mm，所述非导电帽的内直径为6mm，且外直径为10mm。

(三)有益效果

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

1、该改善良率的石墨舟陶瓷结构，通过设置的导电杆，其长度根据具体石墨舟进行调整，具有一定的抗形变能力，导电杆的两端开设的螺纹旋线，方便陶瓷螺母将整个石墨舟进行固定，设置的非导电陶瓷圈，非导电陶瓷圈由非导电凸出和陶瓷圈组成，非导电凸出可卡在石墨舟叶的定位孔内，与定位孔形成良好的接触，陶瓷圈可将两片石墨舟叶间隔开，设置的半导电陶瓷圈，由导电凸出和非导电帽组成，导电凸出可卡在石墨舟叶的定位孔内，与定位孔形成良好的接触，非导电帽可将两片石墨舟叶间隔开。

2、该改善良率的石墨舟陶瓷结构，通过设置的非导电陶瓷圈和半导电陶瓷圈间隔布局，改善间隔的石墨舟的连接方式，将间隔的石墨舟叶组成一个导电整体，另一半的石墨舟叶组成另一个导电整体，改善整个石墨舟的电场均匀性，有利于改善硅片成膜的均匀性，降低返工，提升效率和良率。

附图说明

图1为本实用新型三维结构示意图；

图2为本实用新型非导电陶瓷圈三维结构示意图；

图3为本实用新型半导电陶瓷圈结构示意图。

图中：1导电杆、2非导电陶瓷圈、3半导电陶瓷圈、4非导电凸出、5陶瓷圈、6导电凸出、7非导电帽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实施例中的一种改善良率的石墨舟陶瓷结构，包括导电杆1，设置的导电杆1，其长度根据具体石墨舟进行调整，具有一定的抗形变能力，导电杆1的两端开设的螺纹旋线，方便陶瓷螺母将整个石墨舟进行固定，导电杆1的外部固定有非导电陶瓷圈2，导电杆1的外部固定有半导电陶瓷圈3，非导电陶瓷圈2包括非导电凸出4和陶瓷圈5，导电杆1的外部固定有非导电凸出4，非导电凸出4的右侧固定有陶瓷圈5，设置的非导电陶瓷圈2，非导电陶瓷圈2由非导电凸出4和陶瓷圈5组成，非导电凸出4可卡在石墨舟叶的定位孔内，与定位孔形成良好的接触，陶瓷圈5可将两片石墨舟叶间隔开，半导电陶瓷圈3包括导电凸出6和非导电帽7，导电杆1的外部固定有导电凸出6，导电凸出6的右侧固定有非导电帽7，设置的半导电陶瓷圈3，由导电凸出6和非导电帽7组成，导电凸出6可卡在石墨舟叶的定位孔内，与定位孔形成良好的接触，非导电帽7可将两片石墨舟叶间隔开。

上述实施例的工作原理为：

非导电凸出4和导电凸出6的高度均为石墨舟叶厚度，在石墨舟组装时将非导电凸出4和导电凸出6卡在石墨舟叶的定位孔内，与定位孔形成良好的接触，陶瓷圈5和非导电帽7高度均为两片石墨舟叶之间的间距，陶瓷圈5和非导电帽7将两片石墨舟叶间隔开，导电凸出6均与石墨舟以及导电杆1连接，将间隔的石墨舟形成一个导电整体，导电过程中更加均匀，也可以通过间隔连接将其他石墨舟叶连接在一起形成一个整体，这样整个石墨舟形成两个导电相位，放电过程中电场更加均匀，成膜效果更好。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。