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一种转盘式芯片分选机四六寸共用料匣机构

摘要

本实用新型提供了一种转盘式芯片分选机四六寸共用料匣机构,属于芯片分选机技术领域,包括晶圆储存组件、分类组件、满料储存组件、上料机构以及晶圆模组铁片夹持机构,所述晶圆储存组件用于存放晶圆芯片,所述上料机构用于从所述晶圆储存组件取晶圆芯片至所述晶圆模组铁片夹持机构,所述晶圆模组铁片夹持机构用于将分好的分类环片搬运至所述分类组件内部。本实用新型实施例中,通过上料机构从晶圆储存组件取晶圆芯片至晶圆模组铁片夹持机构上,将分好的分类环片搬运至归类好的分类组件里面,分选完整的芯片搬运至满料储存组件里面,相较于现有技术,可实现不同芯片的分类存放,具有存放效果好的优点。

著录项

  • 公开/公告号CN217521950U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2022-09-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市朝阳光科技有限公司;

    申请/专利号CN202220898921.4

  • 发明设计人 邓朝旭;

    申请日2022-04-19

  • 分类号H01L21/67;H01L21/687;H01L21/673;

  • 代理机构深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司;

  • 代理人吴雅丽

  • 地址 518000 广东省深圳市龙华新区大浪街道高峰社区乌石岗工业区第十栋厂房

  • 入库时间 2022-11-28 18:15:49

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-09-30

    授权

    实用新型专利权授予

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