一种制备无水氟化氢联产氢氟酸与氟化氢的生产装置

摘要

本实用新型公开了一种制备无水氟化氢联产氢氟酸与氟化氢的生产装置，包括分壁式反应精馏塔、冷凝吸收塔、氧化反应釜、再沸器和冷凝器，冷凝吸收塔气相进料口通过管道和阀门与氟化氢精馏段顶部气相出口连接，冷凝器和冷凝段顶部的不凝气出口通过管道与精馏塔顶部气相入口连接，氟化氢提留段底部重组分出口通过管道与洗涤塔顶部重组分入口连接，氧化反应釜底部设置氧化剂分布器，其气、液相出口都与分壁式反应精馏塔中部进料口连接。本实用新型将无水氟化氢制备与电子级氢氟酸与电子级氟化氢的生产过程耦合，操作简单，可以有效地降低能耗和投资，同时也有效减少或回收了电子级产品制备过程中的副产物，且更容易实现产业化。