用于离子注入机的离子轰击碰撞装置

摘要

本实用新型涉及一种用于离子注入机的离子轰击碰撞装置，包括：离子注入机外防护筒；固定板，固定板对称设置于离子注入机外防护筒两侧；支撑机构，支撑机构对称设置于离子注入机外防护筒两侧，并分别于对应固定板连接；往复摆动机构，往复摆动机构对称设置于离子注入机外防护筒两侧，并彼此相向固定在两侧固定板端面上；延长臂，延长臂一端与往复摆动机构固定连接，另一端转动连接于离子注入机外防护筒的外壁，以增加离子注入机外防护筒与往复摆动机构之间的连接距离，往复摆动机构用于驱动延长臂往复摆动，以带动离子注入机外防护筒往复摆动。本实用新型具有以下优点和效果：能够增加摆动幅度，使得离子的轰击碰撞更充分，提高轰击碰撞的效果。