一种电子半导体行业废气治理装置

摘要

本实用新型公开了一种电子半导体行业废气治理装置，包括洗涤塔、除雾装置、多级干式过滤装置、转轮吸附脱附装置、加热器、蓄热式氧化炉、引风机一、引风机二、排气筒，所述洗涤塔内设有除雾层、水箱、喷淋层、滤料层一，洗涤塔连接有循环给水泵，循环给水泵与喷淋层连通，洗涤塔上设有进风口一和出风口一。本实用新型前端预置洗涤塔把无机的酸性气体吸收，减少对后续设备的腐蚀，针对中低浓度的挥发性有机废气(VOCs)，去除颗粒物，减少转轮和蓄热体的堵塞，利用多级组合工艺，治理后的VOC排放值远远低于国家排放标准、地方标准或行业标准。