清扫装置

摘要

本实用新型公开了一种清扫装置，清扫装置包括支架、清扫组件、行走组件和第一驱动组件，清扫组件设在支架上，且用于清扫副室的壁面，行走组件设在支架上且适于支撑在副室的壁面上以沿副室的轴向运动，行走组件包括多组行走轮组，多组行走轮组沿支架的周向设置，行走轮组包括沿支架的轴向间隔设置的多个行走轮，在支架的径向上，每个行走轮与支架之间的径向距离可分别改变，第一驱动组件用于驱动至少一组行走轮组运动，以使多组行走轮组沿副室的壁面滚动。本实用新型实施例的清扫装置，可自动清扫单晶炉的副室，可以实现清扫不同尺寸的单晶炉的副室和/或实现对副室壁面的不平整的自适应调节，且清扫质量好、清扫效率高。