一种长晶炉

摘要

本申请公开了一种长晶炉，其包括：炉体；高真空泵，高真空泵的进气口通过第一真空管路与炉体相连，高真空泵选自分子泵、离子泵或扩散泵中的一种；干式真空泵，干式真空泵的进气口通过第二真空管路与高真空泵的出气口相连，第一真空管路的侧壁设置第一开口，第二真空管路的侧壁设置第二开口，第一开口和第二开口之间设有第三真空管路，第一开口与高真空泵的进气口之间的第一真空管路上设有第一阀门，第二开口与高真空泵的出气口之间的第二真空管路上设有第二阀门，第三真空管路上设有第三阀门。该长晶炉可以避免真空管路及炉体内部受到油污污染，从而避免制备的半导体晶体被污染，有效提高了晶体纯度，减少了晶体上微管的数量，保证了晶体质量。