三维双面硅微条探测器

摘要

本实用新型公开了一种三维双面硅微条探测器，包括上部探测单元、下部探测单元和中间半导体基体，上部探测单元的上沟槽电极内均匀嵌有相互平行的上半导体基体，上半导体基体内嵌有上中央电极；下部探测单元的下沟槽电极内均匀嵌有相互平行的下半导体基体，下半导体基体内嵌有下中央电极；上半导体基体、上沟槽电极、上中央电极、下半导体基体、下沟槽电极和下中央电极高度相等；下部探测单元位于上部探测单元正下方，且两者在水平方向错开一定角度。上半导体基体、下半导体基体和中间半导体基体的掺杂浓度为1×10