一种纳米材料力学性能原位测试系统

摘要

本实用新型提供了一种纳米材料力学性能原位测试系统，包括扫描电子显微镜，扫描探针测试单元，控制单元以及计算机；扫描探针测试单元包括底座，设于底座上表面一侧的调节台，设于底座上表面另一侧的测量机构；扫描电子显微镜包括电镜极靴，调节台上设有样品台，X轴调节装置、Y轴调节装置，Z轴调节装置；测量机构包括激光光路调节装置，设于底座上的探针基座，以及设于探针基座上的探针，探针位于电镜极靴下方，激光光路调节装置用于准直和聚焦激光。本实用新型真正意义上实现了扫描电子显微镜原位观察测试过程中扫描探针与样品的作用过程以及外场物理力学作用下样品微结构的演变过程，并将系列事件的微观图像和力学性能测试数据传输到计算机的功能。