微波内匹配功率晶体管匹配电容

摘要

本实用新型公开了一种微波内匹配功率晶体管匹配电容，涉及电容技术领域。所述电容包括完成了内匹配电容正面工艺的MIM上电容组件，MIM上电容组件包括衬底，所述衬底的上表面设有金属下电极，所述衬底上设有引出通孔，所述衬底的下表面设有金属下电极引出电极，所述金属下电极引出电极的一部分穿过所述引出通孔与所述金属下电极电连接。所述电容具有耐高温，频率性能好，体积小，制作工艺简单，成本低的特点。