公开/公告号CN102640255B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201080055155.5
申请日2010-12-02
分类号H01L21/02(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:39:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-11
授权
授权
2013-01-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20101202
实质审查的生效
2012-08-15
公开
公开
机译: 减少不良燃烧器排放气体中的NOx排放的催化剂,排放气体的排放处理系统以及催化剂的制备方法。
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